膜厚儀分為手持式膜厚儀和臺式膜厚儀兩種，手持式又有磁感應鍍層測厚儀，電渦流鍍層測厚儀，熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。

臺式的熒光X射線膜厚儀，是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產生低能量的光子，俗稱為二次熒光，,在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值。

保障膜厚儀測量顯示值準確性必要懂得以下小技巧

基體金屬特性

不應在試件的彎曲表面上測量。